先進(jìn)封裝正推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高集成度、更高性能、更小尺寸邁進(jìn)。其中，TSV(硅通孔) 已在2.5D/3D封裝領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)規(guī)模化量產(chǎn)，而 TGV(玻璃通孔)作為高頻/光電集成的新興解決方案，正加速從實驗室向量產(chǎn)階段邁進(jìn)。

TGV采用玻璃材料作為基底，相比傳統(tǒng)硅基TSV，具備以下優(yōu)點：

更低介電常數(shù)(Low Dk) → 降低信號延遲;

更優(yōu)熱膨脹系數(shù) → 與PCB匹配性更強;

高光學(xué)透明性 → 便于背面成像檢測;

但同時也帶來了不小的挑戰(zhàn)：

玻璃高反射、高透明 → 成像對比度差、邊界不清晰;

缺陷微小且分散 → 難以通過傳統(tǒng)照明識別。

半導(dǎo)體封裝檢測顯微成像方案

我們專注于微觀成像解決方案，可為TGV通孔檢測快速提供了成熟、穩(wěn)定的模塊化顯微配置。不同功能模塊滿足不同應(yīng)用場景，組合靈活，成像精準(zhǔn)高效。

偏光模塊

在成像的過程中，我們通過調(diào)整光路中偏振片的夾角，來調(diào)節(jié)傳輸?shù)綐悠繁砻婧蛡鞲衅餍酒系墓饩€角度，來呈現(xiàn)不同的對比度效果。

在TGV應(yīng)用中，可用于消除玻璃表面的強烈反射，提高通孔邊界和缺陷的成像清晰度，適合：通孔開口質(zhì)量檢查、表面裂紋、殘留顆粒檢測應(yīng)用。

雙視模塊

雙視系統(tǒng)(一“聚”兩得，模塊式雙視顯微鏡)可以兩個光路都是同樣的倍數(shù)，不同波段;也可以兩個光路是不同倍數(shù)，不同視野;或者兩個光路在變倍/定倍、手動/電動之間任意選擇。

在具體的檢測應(yīng)用中，只需要一次聚焦，即可獲得同一中心區(qū)域的雙波段/雙視野的兩個圖像：

大視野針對全局成像，快速定位通孔陣列缺陷;

小視野表征關(guān)鍵細(xì)節(jié)，精準(zhǔn)分析孔壁粗糙度/微裂紋。

暗場模塊

落射式暗場顯微觀察正置明暗場顯微檢測方案，通過側(cè)向照明，僅捕捉散射光，高效識別邊緣微小缺陷。具備高靈敏度、適合微小缺陷檢測的優(yōu)點，可用于檢測：

孔壁邊緣毛刺檢測(金屬化殘留)

通孔邊界裂痕識別(玻璃微裂紋)

界面分層觀測(金屬/玻璃結(jié)合面)

TSV顯微應(yīng)用案例

基于同源檢測技術(shù)，我們在TSV(Through-Silicon Via，硅通孔)領(lǐng)域積累了豐富的顯微應(yīng)用經(jīng)驗。以下是部分應(yīng)用案例以及顯微成像功能模塊說明：

半導(dǎo)體晶圓缺陷及晶圓鍵合成像檢測

Navitar SWIR 顯微成像系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體顯示檢測應(yīng)用

模塊式顯微鏡頭應(yīng)用于光通信-光互聯(lián)芯片 波導(dǎo)芯片

模塊化 高精度 激光自動對焦顯微檢測系統(tǒng)

高解析度，高性價比  寬光譜顯微成像鏡頭

看得清，檢得快，Navitar高倍率寬視場鏡頭系列

效率提升首選-寬視場顯微鏡頭+科勒照明成像

TSV-TGV

我們提供可隨時測試并且久經(jīng)量產(chǎn)驗證的光學(xué)顯微成像方案：

超寬光譜覆蓋：近紫外至SWIR-II(360-1600nm)全波段支持;

模塊自由配置：偏光/暗場/DIC/雙視/熒光等功能模塊任意集成切換;

支持自動化設(shè)備集成：按需選配電動顯微成像、自動對焦模塊。

在半導(dǎo)體封裝向高密度演進(jìn)中，我們提供模塊化、按需集成的光學(xué)成像方案—柔性顯微·集成無界，構(gòu)建半導(dǎo)體封裝的精準(zhǔn)之眼。

歡迎聯(lián)系我們，通過高精度顯微成像技術(shù)，為TGV/TSV工藝的質(zhì)量控制提供支持，并以靈活可擴(kuò)展架構(gòu)降低檢測系統(tǒng)開發(fā)門檻，加速設(shè)備落地。

柔性顯微·集成無界：

豐富的成像案例和應(yīng)用經(jīng)驗告訴我們：顯微鏡結(jié)構(gòu)沒有做不到，只有想不到——每一次成像挑戰(zhàn)，都在推動我們的創(chuàng)新邊界。

我們非常樂意于為用戶提供各個倍率的變倍/寬視場定倍顯微鏡頭、激光自動聚焦顯微成像系統(tǒng)、工業(yè)相機(jī)、及各類標(biāo)準(zhǔn)物鏡、光源、支架樣品測試：

歡迎有相關(guān)應(yīng)用需求的用戶與我們聯(lián)系， 無需漫長定制等待，快速配置系統(tǒng)，助您應(yīng)對光學(xué)顯微成像的各種難題。

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